サーパス工業株式会社は、半導体・FPD業界で使用されます機器の、設計開発から製造販売まで手掛けており、流量計、クイックコネクター、圧力センサーなどを扱っております。薬品会社で生産された薬液を、製造直後の純度を保ったまま、各半導体・FPD工場へ安全に供給できますよう、様々なコネクターを取り揃えております。

半導体前工程では流量計・バルブ・レギュレータ・圧力センサーなど、多種多様な製造装置が薬液をコントロールして、半導体やFPDの製造に役立てられています。エディーソニックフローメーターは可動部がなく、軽量・コンパクトな流量計で、配管に直接取り付けられます。ESFシリーズ・ESLシリーズ・デジタルフローモニターなど、用途に合わせて配管設置が選べます。

詳細な仕様などは、ぜひサイトにてご確認ください。